中国囤343台ASML浸没式DUV光刻机 7nm产能可撑数年

美国智库科技与治国方略中心（CTS）在一份最新报告中披露：截至2026年初，中国晶圆厂已经累计获得约343台浸没式深紫外（DUV）光刻系统。

从具体型号分布来看，这批设备里约270台为 ASML 的 Twinscan NXT:1980i，另有28台更先进的 NXT:2050i 和 NXT:2100i，其余约45台则属于较旧机型。

采购端的资金投入同样不小。报告指出，仅2024年和2025年，中国芯片制造商就分别进口了约90台和89台 NXT:1980i，两年累计支出超过130亿美元（约合人民币872亿元）。

为什么偏偏是 NXT:1980i 成为绝对主力？原因在于，它虽然不是最先进的机型，却能用于生产7纳米逻辑芯片和 HBM2e 高带宽内存。而后者，正是华为昇腾系列AI加速器所需的关键部件。

报告作者进一步估算，在配套设备完善的中国晶圆厂里，单台 NXT:1980i 每年可能支撑生产超过10万颗昇腾910C等效芯片。也就是说，这批设备的理论产能已经远超当前需求，足以支撑7nm芯片生产数年。

从 ASML 的出货结构来看，中国市场的分量仍在上升。公开资料显示，中国占 ASML 浸没式 DUV 出货量的比例，已经从2022年的26%攀升至2024年第一季至2026年第一季期间的60%至70%。

不过，另一项指标却呈现出不同趋势：中国市场占 ASML 系统净销售额的比例近期有所回落，2024年为41%，2025年降至33%，到2026年第一季和第二季，这一数字进一步下行至19%和14%。

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